Cad é glanadh léasair
Trí fhuinneamh léasair tiubhaithe a nochtadh do dhromchla an phíosa oibre éillithe, is féidir le glanadh léasair an ciseal salachar a bhaint láithreach gan dochar a dhéanamh do phróiseas an tsubstráit. Is é an rogha iontach do ghlúin nua de theicneolaíocht glantacháin thionsclaíoch.
Tá teicneolaíocht glantacháin léasair tar éis éirí mar theicneolaíocht ghlantacháin fíor-riachtanach freisin sa tionscal, longthógáil, aeraspáis, agus réimsí déantúsaíochta ard-deireadh eile, lena n-áirítear deireadh a chur le salachar rubair ar dhromchla múnlaí bonn, deireadh a chur le hábhair shalaithe ola sileacain ar dhromchla an óir. scannán, agus glanadh ard-chruinneas an tionscail mhicrileictreonaic.
Feidhmchláir tipiciúla glantacháin léasair
◾ Péint a bhaint
◾ Ola a bhaint
◾ Ocsaíd a bhaint
Maidir le teicneolaíocht léasair cosúil le gearradh léasair, greanadh léasair, glanadh léasair, agus táthú léasair, b'fhéidir go bhfuil tú eolach orthu seo ach ar an bhfoinse léasair gaolmhar. Tá foirm le haghaidh do thagairt ar a bhfuil thart ar cheithre fhoinse léasair agus ábhair oiriúnacha agus feidhmchláir chomhfhreagracha.
Ceithre fhoinse léasair faoi ghlanadh léasair
Mar gheall ar na difríochtaí i bparaiméadar tábhachtacha cosúil le tonnfhad agus cumhacht foinse léasair éagsúla, ráta ionsú na n-ábhar agus stains éagsúla, mar sin ní mór duit a roghnú an fhoinse léasair ceart do do mheaisín glantacháin léasair de réir na gceanglas sonrach a bhaint éillithe.
▶ Glanadh Léasair Pulse MOPA
(ag obair ar gach cineál ábhar)
Is é léasair MOPA an cineál glantacháin léasair is mó a úsáidtear. Seasann MO do mháistir oscillator. Ós rud é gur féidir córas léasair snáithín MOPA a aimpliú i gcomhréir dhlúth leis an bhfoinse comhartha síolta i dteannta leis an gcóras, ní athrófar saintréithe ábhartha an léasair ar nós tonnfhad an ionaid, tonnchruth bíge agus leithead cuisle. Dá bhrí sin, tá an ghné coigeartaithe paraiméadar níos airde agus tá an raon níos leithne. I gcás cásanna iarratais éagsúla d'ábhair éagsúla, tá an inoiriúnaitheacht níos láidre agus tá an t-eatramh fuinneoige próiseas níos mó, ar féidir leo freastal ar ghlanadh dromchla ábhair éagsúla.
▶ Glanadh Léasair Ilchodach Snáithín
(rogha is fearr chun péint a bhaint)
Úsáideann glanadh ilchodach léasair léasair leathsheoltóra leanúnach chun aschur seolta teasa a ghiniúint, ionas go n-ionsúnn an tsubstráit atá le glanadh fuinneamh chun gásúchán a tháirgeadh, agus scamall plasma, agus brú leathnaithe teirmeach a fhoirmiú idir an t-ábhar miotail agus an ciseal éillithe, ag laghdú an fórsa nascáil interlayer. Nuair a ghineann an fhoinse léasair bhíoma léasair pulse ardfhuinnimh, bainfidh an tonn turraing tonnchrith as an gceangal leis an bhfórsa greamaitheachta lag, ionas go mbainfear amach glanadh léasair tapa.
Comhcheanglaíonn glanadh ilchodach léasair feidhmeanna léasair leanúnacha agus léasair pulsed ag an am céanna. Is féidir le luas ard, ardéifeachtúlachta, agus cáilíocht glantacháin níos comhionann, d'ábhair éagsúla, úsáid a bhaint as tonnfhaid éagsúla de ghlanadh léasair ag an am céanna freisin chun an cuspóir a bhaineann le stains a bhaint.
Mar shampla, i nglanadh léasair na n-ábhar sciath tiubh, tá an t-aschur fuinnimh il-pulse léasair aonair mór agus tá an costas ard. Is féidir le glanadh ilchodach léasair pulsed agus léasair leathsheoltóra an caighdeán glantacháin a fheabhsú go tapa agus go héifeachtach, agus ní dhéanfaidh sé damáiste don tsubstráit. I nglanadh léasair ábhair an-fhrithchaiteacha cosúil le cóimhiotal alúmanaim, tá roinnt fadhbanna ag léasair aonair mar fhrithchaiteacht ard. Ag baint úsáide as léasair pulse agus glanadh ilchodach léasair leathsheoltóra, faoi ghníomhaíocht tarchurtha seoltaí teirmeach léasair leathsheoltóra, méadú ar ráta ionsú fuinnimh an chiseal ocsaíd ar an dromchla miotail, ionas gur féidir leis an bhíoma léasair pulse an ciseal ocsaíd a craiceann níos tapúla, feabhas a chur ar éifeachtacht bhaint. níos éifeachtaí, go háirithe tá méadú níos mó ná 2 uair ar éifeachtacht bhaint péint.
▶ Glanadh Léasair CO2
(rogha is fearr chun ábhar neamh-mhiotail a ghlanadh)
Is léasair gáis é léasair dé-ocsaíd charbóin le gás CO2 mar an t-ábhar oibre, atá líonta le gás CO2 agus gáis chúnta eile (héiliam agus nítrigin chomh maith le méid beag hidrigine nó xeanón). Bunaithe ar a thonnfhad uathúil, is é léasair CO2 an rogha is fearr chun dromchla ábhar neamh-mhiotalacha a ghlanadh, mar shampla gliú, sciath agus dúch a bhaint. Mar shampla, ní dhéanann úsáid léasair CO2 chun an ciseal péint ilchodach ar dhromchla cóimhiotal alúmanaim damáiste a dhéanamh do dhromchla scannán ocsaíd anodic, ná ní laghdaíonn sé a thiús.
▶ Glanadh Léasair UV
(rogha is fearr le haghaidh gléas leictreonach sofaisticiúla)
I measc na léasair ultraivialait a úsáidtear i micrinnealtóireacht léasair tá léasair excimer agus gach léasair soladach-stáit den chuid is mó. Tá tonnfhad léasair ultraivialait gearr, is féidir le gach fótón aonair ardfhuinneamh a sheachadadh, is féidir leis na bannaí ceimiceacha idir ábhair a bhriseadh go díreach. Ar an mbealach seo, baintear ábhair brataithe as an dromchla i bhfoirm gáis nó cáithníní, agus táirgeann an próiseas glantacháin iomlán fuinneamh teasa íseal nach mbeidh tionchar aige ach ar chrios beag ar an bpíosa oibre. Mar thoradh air sin, tá buntáistí uathúla ag glanadh léasair UV i micrea-déantúsaíocht, mar shampla glanadh Si, GaN agus ábhair leathsheoltóra eile, Grianchloch, sapphire agus criostail optúla eile, Agus is féidir le polyimide (PI), polycarbonate (PC) agus ábhair pholaiméire eile, go héifeachtach. feabhas a chur ar chaighdeán na déantúsaíochta.
Meastar gurb é léasair UV an scéim ghlantacháin léasair is fearr i réimse na leictreonaice beachtais, ní athraíonn a dteicneolaíocht phróiseála "fuar" fíneáil is sainiúla airíonna fisiceacha an ruda ag an am céanna, is féidir le dromchla meaisínithe agus próiseála micrea. a úsáid go forleathan i gcumarsáid, optaic, míleata, imscrúdú coiriúil, leighis agus tionscail agus réimsí eile. Mar shampla, chruthaigh an ré 5G éileamh margaidh ar phróiseáil FPC. Trí mheaisín léasair UV a chur i bhfeidhm, is féidir cruinneas meaisínithe fuar FPC agus ábhair eile.
Am postála: Oct-10-2022