Лазер цэвэрлэгээ гэж юу вэ
Лазер цэвэрлэгээ нь бохирдсон ажлын хэсгийн гадаргуу дээр төвлөрсөн лазерын энергийг ил гаргаснаар субстратын процессыг гэмтээхгүйгээр шороон давхаргыг шууд арилгах боломжтой. Энэ нь шинэ үеийн үйлдвэрийн цэвэрлэгээний технологийн хамгийн тохиромжтой сонголт юм.
Лазер цэвэрлэгээний технологи нь дугуйны хэвний гадаргуу дээрх резинэн шороог зайлуулах, алтны гадаргуу дээрх цахиурын тосны бохирдлыг арилгах зэрэг аж үйлдвэр, усан онгоц, сансар судлал болон бусад өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн салбарт зайлшгүй цэвэрлэх технологи болжээ. хальс, микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн өндөр нарийвчлалтай цэвэрлэгээ.
Лазер хайчлах, лазер сийлбэрлэх, лазераар цэвэрлэх, лазер гагнуур хийх зэрэг лазер технологийн хувьд та эдгээрийг мэддэг боловч холбогдох лазерын эх сурвалжийг мэддэг байх. Дөрвөн лазерын эх сурвалж, тохирох материал, хэрэглээг агуулсан лавлагааны маягт байна.
Лазер цэвэрлэгээний тухай дөрвөн лазерын эх сурвалж
Өөр өөр лазерын эх үүсвэрийн долгионы урт, хүч, янз бүрийн материалын шингээлтийн түвшин, толбо зэрэг чухал үзүүлэлтүүдийн ялгаатай байдлаас шалтгаалан та лазер цэвэрлэх машиндаа тохирох лазерын эх үүсвэрийг бохирдуулагчийг зайлуулах тусгай шаардлагын дагуу сонгох хэрэгтэй.
▶ MOPA импульсийн лазер цэвэрлэгээ
(бүх төрлийн материал дээр ажиллах)
MOPA лазер нь лазер цэвэрлэгээний хамгийн өргөн хэрэглэгддэг төрөл юм. MO гэдэг нь мастер осциллятор гэсэн үг юм. MOPA шилэн лазер системийг системд холбосон үрийн дохионы эх үүсвэрийн дагуу чангатгах боломжтой тул төвийн долгионы урт, импульсийн долгионы хэлбэр, импульсийн өргөн зэрэг лазерын холбогдох шинж чанарууд өөрчлөгдөхгүй. Тиймээс параметрийн тохируулгын хэмжээс нь илүү өндөр, хүрээ нь илүү өргөн байдаг. Янз бүрийн материалын хэрэглээний хувилбаруудын хувьд дасан зохицох чадвар нь илүү хүчтэй бөгөөд процессын цонхны интервал нь илүү том бөгөөд энэ нь янз бүрийн материалын гадаргууг цэвэрлэхэд нийцдэг.
▶ Нийлмэл шилэн лазер цэвэрлэгээ
(будаг арилгах хамгийн сайн сонголт)
Лазер нийлмэл цэвэрлэгээ нь дулаан дамжуулалтын гаралтыг бий болгохын тулд хагас дамжуулагч тасралтгүй лазерыг ашигладаг бөгөөд ингэснээр цэвэрлэх субстрат нь хийжүүлэх эрчим хүчийг шингээж, плазмын үүл үүсгэж, металл материал болон бохирдсон давхаргын хооронд дулааны тэлэлтийн даралтыг бий болгож, давхарга хоорондын холболтын хүчийг бууруулдаг. Лазерын эх үүсвэр нь өндөр эрчим хүчний импульсийн лазер туяа үүсгэх үед чичиргээний цохилтын долгион нь хавсралтыг сул наалдсан хүчээр хуулж, лазерыг хурдан цэвэрлэх болно.
Лазер нийлмэл цэвэрлэгээ нь тасралтгүй лазер болон импульсийн лазер функцийг нэгэн зэрэг хослуулдаг. Янз бүрийн материалын хувьд өндөр хурдтай, өндөр үр ашигтай, илүү жигд цэвэрлэх чанар нь толбыг арилгах зорилгодоо хүрэхийн тулд өөр өөр долгионы урттай лазер цэвэрлэгээг нэгэн зэрэг ашиглаж болно.
Жишээлбэл, зузаан бүрэх материалыг лазераар цэвэрлэхэд нэг лазерын олон импульсийн эрчим хүчний гаралт их, өртөг өндөр байдаг. Импульсийн лазер болон хагас дамжуулагч лазерын нийлмэл цэвэрлэгээ нь цэвэрлэгээний чанарыг хурдан бөгөөд үр дүнтэй сайжруулж, субстратыг гэмтээхгүй. Хөнгөн цагааны хайлш зэрэг өндөр цацруулагчтай материалыг лазераар цэвэрлэхэд нэг лазер нь өндөр тусгалтай гэх мэт асуудалтай байдаг. Импульсийн лазер ба хагас дамжуулагч лазерын нийлмэл цэвэрлэгээг ашиглан хагас дамжуулагч лазерын дулаан дамжуулалтын нөлөөгөөр металл гадаргуу дээрх ислийн давхаргын энерги шингээх хурдыг нэмэгдүүлж, импульсийн лазер туяа нь ислийн давхаргыг илүү хурдан хуулж, арилгах үр ашгийг дээшлүүлнэ. илүү үр дүнтэй, ялангуяа будаг арилгах үр ашиг 2 дахин нэмэгддэг.
▶ CO2 лазераар цэвэрлэх
(металл бус материалыг цэвэрлэх хамгийн сайн сонголт)
Нүүрстөрөгчийн давхар ислийн лазер нь CO2 хий болон бусад туслах хий (гели, азот, түүнчлэн бага хэмжээний устөрөгч эсвэл ксенон) -аар дүүргэгдсэн CO2 хий бүхий хийн лазер юм. Өвөрмөц долгионы уртдаа үндэслэн CO2 лазер нь цавуу, бүрээс, бэхийг арилгах зэрэг металл бус материалын гадаргууг цэвэрлэхэд хамгийн тохиромжтой сонголт юм. Жишээлбэл, хөнгөн цагааны хайлшийн гадаргуу дээрх нийлмэл будгийн давхаргыг арилгахын тулд CO2 лазерыг ашиглах нь анод ислийн хальсны гадаргууг гэмтээхгүй, зузааныг нь бууруулдаггүй.
▶ Хэт ягаан туяаны лазераар цэвэрлэх
(боловсронгуй цахим төхөөрөмжийн хамгийн сайн сонголт)
Лазерын бичил боловсруулалтад ашигладаг хэт ягаан туяанд голчлон эксимер лазерууд болон бүх хатуу төлөвт лазерууд ордог. Хэт ягаан туяаны лазер долгионы урт нь богино, нэг фотон бүр нь өндөр энерги өгч, материалын хоорондох химийн холбоог шууд тасалдаг. Ийм байдлаар бүрсэн материалыг гадаргуугаас хий эсвэл тоосонцор хэлбэрээр хуулж, цэвэрлэх бүх процесс нь бага дулааны энерги үүсгэдэг бөгөөд энэ нь зөвхөн ажлын хэсгийн жижиг бүсэд нөлөөлнө. Үүний үр дүнд хэт ягаан туяаны лазер цэвэрлэгээ нь Si, GaN болон бусад хагас дамжуулагч материал, кварц, индранил болон бусад оптик талстууд, полиимид (PI), поликарбонат (PC) болон бусад полимер материалыг үр дүнтэй цэвэрлэх гэх мэт бичил үйлдвэрлэлд өвөрмөц давуу талтай. үйлдвэрлэлийн чанарыг сайжруулах.
Хэт ягаан туяаны лазерыг нарийн электроникийн салбарт хамгийн сайн лазер цэвэрлэх схем гэж үздэг бөгөөд түүний хамгийн онцлог нь нарийн "хүйтэн" боловсруулах технологи нь объектын физик шинж чанарыг нэгэн зэрэг өөрчилдөггүй, бичил боловсруулалт, боловсруулалтын гадаргуу, боломжтой. харилцаа холбоо, оптик, цэрэг, эрүүгийн мөрдөн байцаах, эмнэлгийн болон бусад салбар, салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Жишээлбэл, 5G эрин үе нь FPC боловсруулах зах зээлийн эрэлтийг бий болгосон. Хэт ягаан туяаны лазер машиныг ашиглах нь FPC болон бусад материалыг хүйтэн аргаар нарийн боловсруулах боломжийг олгодог.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 10-р сарын 10